扩散炉炉体系列

一、炉体材料:

   炉丝：Φ8～Φ康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。

   绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。

   保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。

    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。

    热偶座：进口弹簧卡状固定座。

    把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。
 

二、炉体参数:

     工作温度：   ≤

     恒温区长度：

    炉体内径：   Φ90～Φ（3～12英寸）

 规范使用：   寿命可达20个月以上（）

 替代进口：   全方位配套

三、应用：

       青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。
可与美国TEMPRESS、THERMCO， tyan。
荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。