扩散炉系列

设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。     

主要技术指标：

  炉管数：     1～4管

  配工艺管口径： Φ90～360 mm (3～12英寸)

  恒温区长度：  760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)

             760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

  单点稳定性：  ±1.0℃/24h (300～800℃)

             ±0.5℃/24h (800～1280℃)

  气源路数：   ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

  气体控制：   浮子/质量流量计

  悬臂舟参数：  速度： 20～1000 mm/min

            大行程：2000 mm

            定位精度：±1 mm 

            大载荷：17 Kg

  超净工作台：  净化等级：100级（万级厂房）

            噪音： ≤62dB（A）

            振动： ≤3μm