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晶圆真空退火炉 低温退火 青岛晨立
品牌1： 晨立
品牌： 晨立电子
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发布时间： 2024-06-27 15:39
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详细信息

晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆的低温退火。

尺寸：4-8英寸晶圆

晶圆舟：标准

控温精度：±3℃

升温速率：10℃/min

洁净等级：千级洁净


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